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IPM半導體中度嚴苛

IPM半導體中度嚴苛
IPM半導體中度嚴苛

IPH半導體真空泵

     IPM半導體中度嚴苛無油真空泵系列用途: Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant 特點: 綠色制造、全新系列干式真空泵 體積小、耗功低、大幅度降低成本 用于中度嚴苛制程的節能泵

  半導體制造中主要應用的真空泵類型包括干式真空泵以及渦輪分子泵。較早時,油式真空泵是半導體行業中常用的真空泵種類,目前干泵成為了半導體行業最主要的 真空泵類型。與基于液體的水環泵、油封泵和蒸汽噴射系統相比,干泵設備除了能 提高速度、工藝可重復性、靈活性和生產率之外,還能夠顯著節省運營成本、維護成 本和安裝空間。

干泵設備的關鍵優勢,不使用水或油來進行真空階段的密封或者潤 滑,因為設備的運行成本非常經濟,可讓用戶優化真空工藝。另外,干泵消除了工藝 過程污染油或油搭載進入尾氣處理系統的風險,他們不會產生廢物、或者污染寶貴 的溶劑、產品或環境。

干式泵是一種無油的泵送機構,用于創造真空環境。它們在真空抽氣機構內不使用 潤滑劑,并有一系列的監測和控制選項。干泵廣泛應用于半導體領域,也應用于冶 金、涂料、干燥、太陽能等工業過程。它們也用于科學儀器,如掃描電子顯微鏡。


IPM參數

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